主要配置 |
技术参数 |
机械泵 |
抽气速率:4L/S
容油量:1.1L
电机功率:400W
极限压强:6×10-2Pa |
分子泵 |
抽气速率:100L/S
极限压强:6×10-6Pa
启动时间:<2min
额定转速:4300转/分
冷却方式:环境温度5-32℃时,风冷;5-40℃时看,水冷。 |
分子泵控制器 |
电压:220V±22V
启动电流:≤7A
输入频率:47HZ—63HZ
最大输出功率:≤150W
最大加速电压:≤40V
加速时间:≤3min
频率(双速):高速705HZ±10HZ
低速430HZ±5HZ |
复合真空计 |
测量路数:2路(电阻规、电离规各1路)
工作模式:手动/自动
电阻单元参数
规管型号:ZJ-52T电阻规
测量范围:1.0×105Pa~1.0×10-1Pa
有效范围:2.5×103Pa~5.0×10-1Pa
控制范围:2.5×103Pa~5.0×10-1Pa
电离单元参数
规管型号:ZJ-27电离规
可测范围:5.0Pa~1.0×10-5Pa
有效范围:1.0Pa~5.0×10-5Pa
控制范围:1.0Pa~5.0×10-5Pa
规管除气方式:焦耳去气
其他参数
控制路数:4路
控制方式:点动或区域控制/带掉电记忆
控制精度:±1%
采样时间:1S
电源:220V±10% 50HZ
功耗:50W
使用环境温度:0℃~45℃
湿度:≤85% |
连接管路 |
采用全不锈钢,电抛光制作,零件焊接漏率优于1.0×10-9Pa.m3/s |