立式管式炉YMGL系列1100、1300℃设计用于特殊装样方式,并能多角度旋转,可快速升温降温。样品平放在内管上可以实现内管和外管同时通气体,平放的样品有助于薄膜生长,电极测试,温度更均匀。也可作为氧化物晶体生长。也可做快速退火炉。
u最高温度1100℃、1300℃。
u多角度旋转,满足不同工位操作。
u工作管径范围60mm—100mm。
u高纯气炼石英管或者高纯陶瓷管。
uK型(1100℃)或S型(1300℃)热电偶,单温区控制。
u轻质陶瓷纤维隔热材料,耐热冲击性好,蓄热低。
u半导体继电器控制加热元器件,控温精确,寿命长,无噪音。
u多段程序控温,PID调节,可编制多种升降温程序。
u超温保护功能,超温自动断电。
可选配置
u真空泵
u多区控温,两温区或多温区系列
u瑞典kanthal 电热丝
u数显真空计(高精度显示真空值)
u多路气氛混气系统(浮子流量计或质量流量计)
u无纸纪录仪(带通讯端口)
基本参数:
设备型号 |
最高温度 |
使用温度 |
管径 |
加热区 |
温区数 |
控温精度 |
电压 |
功率 |
YMGL11-06 |
1100℃ |
0-1000℃ |
60mm |
300 mm |
1个 |
±1℃ |
220V |
2.5KW |
YMGL13-06 |
1300℃ |
0-1200℃ |
60mm |
300 mm |
1个 |
±1℃ |
380V |
3.5KW |
注:
1、最高温度为管外测量,工作管内温度低约50℃。
2、非标管径、加热区长度可根据客户工艺要求定制。