该供气系统可控制两种气体按不同流量进行混合配比,也可根据实验需求加装洗气装置,质量流量计安装于密封的可移动机柜内,由超洁双抛不锈钢管与精密双卡套接头连接组成。此款设备与仪门品牌的各款真空管式炉、气氛炉配套。
供气系统和管式炉一体系统
特点:
u质子流量计,供气稳定。
u流量量程根据实际用气可选。
u整个气路、针阀为316不锈钢。
u外形美观大方,与炉体主机配套,颜色可定制。
可选配置
u浮子流量计,粗控气流,成本较低
u防腐蚀气路,用于腐蚀性强气体
u简易控气,浮子流量计,不带混气(如下图)
技术参数表
设备型号 |
气路 |
气流量 |
工作
压差 |
最大
压力 |
准确度 |
尺寸(mm) |
电压 |
功率 |
YM(GAS)-2 |
2 |
100sccm
200sccm |
0.1~0.5MPa |
3MPa |
±1.5% FS |
600×600×650 |
220V |
18 W |
YM(GAS)-3 |
3 |
100sccm
200sccm
500sccm |
0.1~0.5MPa |
3MPa |
±1.5% FS |
600×600×650 |
220V |
18 W |
YM(GAS)-4 |
4 |
100sccm
200sccm |
0.1~0.5MPa |
3MPa |
±1.5% FS |
700×600×650 |
220V |
18 W |
注:以氮气流量为标准,量程可选