管式炉YMG系列设计用于1100℃或1300℃以下CVD工艺。如碳化硅镀膜、陶瓷基片导电率测试、ZnO纳米结构的可控生长、陶瓷电容(MLCC)气氛烧结等实验。可抽高真空,通多路气氛。开启式设计,方便样品操作及炉管更换。周边拓展系统齐全,适合高校、科研院所实验之使用。
u最高温度1100℃、1300℃。
u分体式设计,降温速率快。
u工作管径范围60mm—100mm。
u高纯气炼石英管或者高纯陶瓷管。
uK型(1100℃)或S型(1300℃)热电偶,单温区控制。
u轻质陶瓷纤维隔热材料,耐热冲击性好,蓄热低。
u快速升温,升温速率可达10℃。
u半导体继电器控制加热元器件,控温精确,寿命长,无噪音。
u多段程序控温,PID调节,可编制多种升降温程序。
u超温保护功能,超温自动断电。
可选配置
u真空泵(高真空、低真空)
u多区控温,两温区或多温区(如下图)
u瑞典kanthal 电热丝
u数显真空计(高精度显示真空值)
u多路气氛混气系统(浮子流量计或质量流量计)
u无纸纪录仪(带通讯端口)
设备型号 |
最高温度 |
使用温度 |
管径 |
加热区 |
温区数 |
控温精度 |
电压 |
功率 |
YMG11/06 |
1100℃ |
0-1000℃ |
60mm |
320 mm |
1个 |
±1℃ |
220V |
2.5KW |
YMG11/08 |
1100℃ |
0-1000℃ |
80mm |
320 mm |
1个 |
±1℃ |
380V |
3.5KW |
YMG11/10 |
1100℃ |
0-1000℃ |
100mm |
320 mm |
1个 |
±1℃ |
380V |
4.0KW |
YMG13/06 |
1300℃ |
0-1200℃ |
60mm |
320 mm |
1个 |
±1℃ |
220V |
2.5KW |
YMG13/08 |
1300℃ |
0-1200℃ |
80mm |
320 mm |
1个 |
±1℃ |
380V |
3.5KW |
YMG13-10 |
1300℃ |
0-1200℃ |
100mm |
320 mm |
1个 |
±1℃ |
380V |
4.0KW |
注:
1、最高温度为管外测量,工作管内温度低约50℃。
2、非标管径、加热区长度可根据客户工艺要求定制。