滑轨一体式管式炉YMGH系列1100℃,设计用于1100℃以下快速升温快速降温的CVD和快速退火RTP工艺。采用电阻丝加热,加热元件内嵌在轻质陶瓷纤维材料中,温场均匀,精巧美观,周边拓展性好,适合高校、科研院所实验之使用。
特点:
u最高温度1100℃。
u空气强冷,外形喷塑。
u工作管径范围60mm—100mm。
u高纯气炼石英管。
uK型热电偶,单温区控制。
u轻质陶瓷纤维隔热材料,耐热冲击性好,蓄热低。
u快速升温,快速降温,1000℃≤15min。
u半导体继电器控制加热元器件,控温精确,寿命长,无噪音。
u多段程序控温,PID调节可编制多种升降温程序。
u超温保护功能,超温自动断电。
可选配置
u真空泵
u瑞典kanthal 电热丝
u数显真空计(高精度显示真空值)
u多路气氛混气系统(浮子流量计或质量流量计)
u无纸纪录仪(带通讯端口)
设备型号 |
最高温度 |
使用温度 |
管径 |
加热区 |
温区数 |
控温精度 |
电压 |
功率 |
YMGH11-06 |
1100℃ |
0-1000℃ |
60mm |
320 mm |
1个 |
±1℃ |
220V |
2.5KW |
YMGH11-08 |
1100℃ |
0-1000℃ |
80mm |
320 mm |
1个 |
±1℃ |
380V |
3.5KW |
YMGH11-10 |
1100℃ |
0-1000℃ |
100mm |
320 mm |
1个 |
±1℃ |
380V |
4.0KW |
注:
1、最高温度为管外测量,工作管内温度低约50℃。
2、非标管径、加热区长度可根据客户工艺要求定制。